AFM Study of Thin Alumina Layers Prepared by Plasma Oxidation

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F01%3A00001435" target="_blank" >RIV/44555601:13430/01:00001435 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM
Original language description
Příspěvek se zabývá studiem struktury povrchu tenkých vrstev oxidu hliníku připravených plazmatickou oxidací za různých experimentální systém umožňuje přípravu tenkých kovových vrstev vakuovým napařováním a jejich in-situ následnou plazmatickou oxidací vDC výboji kyslíku nebo směsi argonu a kyslíku. Parametry plazmatu jsou určovány pomocí optické emisní spektroskopie, vzorkovacího systému s hmotnostním spektrometrem nebo sondovou diagnostikou. Analýza povrchu byla prováděna diagnostickou technikou AFM(rozsah rastrování 25 mikrometr x 25 mikrometr a menší). Analýza povrchů vrstev oxidu hliníku připravených plazmatickou oxidací pro různé hodnoty přepětí substrátu ukazuje vliv tohoto experimentálního parametru na strukturu povrchu takto připravených vr stev.
Czech name
Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM
Czech description
—

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/OK%20401" target="_blank" >OK 401: Development of Plasma-based Products and Processes</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2001
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)