Modelling of plasma-surface interactions during plasma oxidation process

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13440%2F05%3A00003091" target="_blank" >RIV/44555601:13440/05:00003091 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Modelling of plasma-surface interactions during plasma oxidation process
Original language description
The complete process of plasma oxidation of metals in oxygen plasma consists of several stages: activation of oxygen in discharge, transport of charged species from undisturbed plasma to metal substrate immersed into the plasma, processes on the surfaceand the growth of oxide layers including the ion transport through growing oxide film. In the contribution the plasma oxidation of aluminium and tin in pure oxygen and in oxygen/argon mixtures is analysed, the methods of study being both the direct measurement and computer simulation.
Czech name
Modelování interakce plazmatu s povrchem během procesu plazmové oxidace
Czech description
Celkový proces plazmové oxidace kovů v kyslíkovém plazmatu zahrnuje několik stadií jako aktivaci částic v kyslíkovém výboji, transport nabitých částic z neporušeného plazmatu k povrchu kovu vnořeného do plazmatu, procesy na povrchu a růst vrstvy oxidu včetně transportu iontů skrz vytvářenou vrstvu oxidu. V příspěvku je analysována plazmová oxidace hliníku a cínu v čistém kyslíku a směsi kyslík/argon. Použitými metodami studia jsou jak přímá experimentální měření, tak počítačové simulace.

Project
<a href="/en/project/1K04115" target="_blank" >1K04115: Analysis of the energetic effects on the film growth and microstructure</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

ISBN
—
Place of publication
Toronto, Canada
Publisher/client name
Centre for Advanced Coating Technologies, Faculty of Applied
Version
—
Carrier ID
CD

Similar results(10)