Optical emission spectroscopy and probe measurement in Ar+N2 surfatron discharge.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210158" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210158 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/60076658:12410/04:00005561

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical emission spectroscopy and probe measurement in Ar+N2 surfatron discharge.

Original language description

Applications of plasma sources in technology, medicine and biomedicine are already known for a longer time. Our work is focused on diagnostics and applications of a microwave plasma source in these areas. The diagnosed microwave-driven plasma source conssts of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at 2.45 GHz in the output power range 0 - 300 W, which creates plasma from the working gas flowing through the quartz nozzle. We present some results of diagnostics of generated plamaat nozzle exit at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy.

Czech name

Optická a sondová měření v Ar + N2 surfatronovém výboji

Czech description

Aplikace plazmových zdrojů v technologii, medicíně a biomedicíně jsou již známy po dlouhou dobu . Naše práce se zaměřila na diagnostiku a aplikace mikrovlnového plazmového zdroje v těchto oblastech. Zkoumaný mikrovlnově buzený plazmatický zdroj se skládaze surfatronu napájeného mikrovlnovým magnetronovým generátorem, pracujícím při 2.45 GHz s výstupním výkonem 0 - 300 W, který tvoří plazma z pracovního plynu tekoucí křemenovou tryskou. předkládáme nměkteré výsledky diagnostiky generované plazmy při ústítrysky za různých experimentálních podmínek: proměnlivý absorbovaný výkon, celkový tlak aj. Diagnostika sloupce plazmy byla provedena pomocí dvojité Langmuirovy sondy a optické emisní spektroskopie.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Investigation of the influence of the discharge excitation type on the properties of the deposited films</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

WDS 04 Proceedings of Contributed Papers II (ed. J.Šafránková)

ISBN

80-86732-32-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

339-343

Publisher name

Matfyzpress

Place of publication

Praha, Česká republika

Event location

Praha, Česká republika

Event date

Jan 1, 2004

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—