Comparative diagnostics of Ar and He surfatron generated plasma by means of optical emission spectroscopy and probe measurements

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F04%3A00005562" target="_blank" >RIV/60076658:12410/04:00005562 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Comparative diagnostics of Ar and He surfatron generated plasma by means of optical emission spectroscopy and probe measurements

Original language description

The article is focused on comparative diagnostics of microwave plasmas, generated by surfatron, where Ar and He are used as carrier gases N2 is used as reactive gas. The diagnosed microwave-driven plasma source consists of a surfatron powered by a microwave magnetron generator, working at frequency 2.45 GHz in the output power range 0-300 W, which creates plasma from the flowing working gas in a quartz nozzle. The gas flow rate is kept typically constant at 600 sccm but ratio of carrier gas and reactivegas is varied. We present some results of diagnostics of generated plasma at nozzle exit as well as in the nozzle at different experimental conditions: variable absorbed power, total chamber pressure etc. The diagnostics of plasma column was performed by means of double probe measurement (mainly electron temperature is calculated from measured data) and by optical emission spectroscopy (rotational and vibrational temperatures, estimation of plasma composition from overview spectra).

Czech name

Srovnácí diagnostika surfatrového výboje v Ar a He pomocí optické emisní spektroskopie a sondových měření

Czech description

Článek je zaměřen na srovnávací diagnostiku mikrovlnného plazmatu, generovaného surfatronem, kde Ar a He představují nosný plyn a N2 je použit jako reaktivní příměs. Diagnostikovaný mikrovlnný zdroj je představován surfatronem napájeným mikrovlnným zdrojem pracujícím s frekvencí 2.45 GHz s výstupním výkonem v rozsahu 0-300 W, který generuje plazma z proudícího plynu v křemenné trubici. Rychlost proudícího plynu je konstantní (obvykle 600 sccm), ale poměr reaktivního plynu je měněn. V článku jsou prezentovány některé výsledky diagnostiky generovaného plazmatu hořícího uvnitř trubice i v trubici v závislosti na různých experimentálních podmínkách: proměnný absorbovaný výkon, tlak v pracovní komoře atd. Diagnostika plazmatu byla provedena pomocí měření sdvojicí sond (elektronová teplota vypočtená z naměřených dat) a pomocí optické emisní spektroskopie (rotační a vibrační teploty, odhad chemického složení výboje z přehledového spektra).

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

In: HAL (Hyper Article on Line) (http://hal.ccsd.cnrs.fr/docs/00/00/25/06/PDF/ICPP2004.pdf, e-Proc. of 12th ICPP

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

6

Pages from-to

—

Publisher name

Association Euratom-CEA

Place of publication

Cadarache

Event location

Nice, France

Event date

Oct 25, 2004

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—