Optical emission spectroscopy of argon plasma generated by surfatron at frequency 2.45 GHz.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210195" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210195 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical emission spectroscopy of argon plasma generated by surfatron at frequency 2.45 GHz.

Original language description

The paper presents results of optical emission spectroscopy study of surfatron-based argon plasma. Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz. The plasa inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma column. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas isndependently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature from the measured spectra of OH and N2

Czech name

Optická emisní spektroskopie argonové plazmy generované surfatronnem při frekvenci 2.45 GHz.

Czech description

Článek podává výsledky studie surfatronové argonové plazmy pomocí optické emisní spektroskopie Plazma vzniká v křemenné trubici, která je umístěna v dutině surfatronu napájené mikrovlnovým magnetronovým generatorem pracujícím při frekvenci 2.45 GHz. Plaza uvnitř trubice je nucena proudit dolů povrchovou vlnou, která se šíří podél sloupce plazmy.Křemenné trysky končí ve vakuové komoře, která je odčerpávána rotační olejovou vývěvou. Tlak uvnitř komory stejně jako průtok pracovního plynu jsou nezzávisle prměnné. Zjišťovali jsme parametry plazmy jako rotační a vibrační teploty z měřených spekter OH a N2.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Investigation of the influence of the discharge excitation type on the properties of the deposited films</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

17th Escampig

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

181-183

Publisher name

Ovidius University of Constanta

Place of publication

Constanta, RO

Event location

Constanta, RO

Event date

Jan 1, 2004

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—