Surfatron generated discharge at frequency 2.45. GHz.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F04%3A24210198" target="_blank" >RIV/46747885:24210/04:24210198 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Surfatron generated discharge at frequency 2.45. GHz.
Original language description
Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz. The plasma inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma colmn. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas is independently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature frm the measured spectra of OH and N2
Czech name
Surfatronem generovaný výboj při frekvenci 2.45. GHz
Czech description
Plazma vzniká v křemenné trubici, která je umístěna v dutině surfatronu napájené mikrovlnovým magnetronovým generatorem pracujícím při frekvenci 2.45 GHz. Plazma uvnitř trubice je nucena proudit dolů povrchovou vlnou, která se šíří podél sloupce plazmy.Kemenné trysky končí ve vakuové komoře, která je odčerpávána rotační olejovou vývěvou. Tlak uvnitř komory stejně jako průtok pracovního plynu jsou nezzávisle proměnné. Zjišťovali jsme parametry plazmy jako rotační a vibrační teploty z měřených spekter OHN2.

Project
<a href="/en/project/OC%20527.60" target="_blank" >OC 527.60: Investigation of the influence of the discharge excitation type on the properties of the deposited films</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
III. Joint meeting COST 527, Sant Feliu de Guoix, Spain
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
5
Pages from-to
55-60
Publisher name
Neuveden
Place of publication
Spain
Event location
Spain
Event date
Jan 1, 2004
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)