Optical emission spectroscopy of argon plasma generated by surfatron at frequency 2.45 GHz

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F04%3A00005563" target="_blank" >RIV/60076658:12410/04:00005563 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical emission spectroscopy of argon plasma generated by surfatron at frequency 2.45 GHz

Original language description

The paper presents results of optical emission spectroscopy study of surfatron-based argon plasma. Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz. The plasma inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma column. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas isindependently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature from the measured spectra of OH and N2.

Czech name

Optická emisní spektroskopie agonového plazmatu generovaného při frekvenci 2.45 GHz

Czech description

Článek prezentuje výsledky optické emisní spektroskopie surfatronového argonového plazmatu. Plazma je formováno v křemenné trubici, která je umístěna do rezonátorové dutiny surfatronu, napájené mikrovlnným generátorem pracujícím s frekvencí 2.45 GHz. Plazma uvnitř trubice je unášeno k jejímu ústí povrchovou vlnou šířící se podél plazmatického sloupce. Konec trubice je situován do vakuové komory čerpané pomocí rotační olejové vývěvy. Tlak uvnitř komory, stejně jako rychlost proudění pracovního plynu, jsou nezávisle nastavitelné. Byly vyšetřovány parametry plazmatu, rotační a vibrační teplota, z měřeného spektra OH a N2.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

In: Ciupina, V., Musa, G., Vladoiu, R. (Eds.):: Conference Proceedings of the 17th Escampig 2004

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

181-183

Publisher name

Ovidius University Constanta

Place of publication

Constanta

Event location

Constanta, Romania

Event date

Sep 1, 2004

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—