Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00449903" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00449903 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746" target="_blank" >http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů
Original language description
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plochapro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem.
Czech name
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů
Czech description
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plochapro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem.
Classification
Type
P - Patent
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2015
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Patent/design ID
305482
Publisher
CZ001 -
Publisher name
Industrial Property Office
Place of publication
Prague
Publication country
CZ - CZECH REPUBLIC
Date of acceptance
Sep 9, 2015
Owner name
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence