All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00449903" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00449903 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

    <a href="http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746" target="_blank" >http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

  • Original language description

    Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plochapro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem.

  • Czech name

    Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

  • Czech description

    Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plochapro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem.

Classification

  • Type

    P - Patent

  • CEP classification

    BL - Plasma physics and discharge through gases

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

    Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

  • Continuities

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Others

  • Publication year

    2015

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Patent/design ID

    305482

  • Publisher

    CZ001 -

  • Publisher name

    Industrial Property Office

  • Place of publication

    Prague

  • Publication country

    CZ - CZECH REPUBLIC

  • Date of acceptance

    Sep 9, 2015

  • Owner name

    Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i

  • Method of use

    A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

  • Usage type

    A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence