Photocatalytic efficiency oftitanium oxide films deposited by PECVD technique.

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F46747885%3A24210%2F06%3A%400000105" target="_blank" >RIV/46747885:24210/06:@0000105 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Photocatalytic efficiency oftitanium oxide films deposited by PECVD technique.

Original language description

TiO2 thin films were prepared by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) technique. Mixture of Titanium-IVisopropoxide with oxygen was used as a working gas. The films were deposited on glass and silicon substrates. The photocatalytic effect oftitanium dioxide (TiO2) films of decomposition of organic matter, antibacterial, antiviral effect and photoinduced hydrophility of the films were investigated in dependence on experimental conditions. The films were characterized by SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope), XRD (X-Ray Diffraction), RBS (Rutherford Backscattering Spectroscopy) and XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy). Photocatalytic properties of the films were strongly influenced by ion bombardment and deposition temperature. The film with anatase crystalline structure and high photocatalytic activity was deposited at as low temperature as 120°C under low energy ion bombardment...

Czech name

Fotokatalytickám účinnost filmů titanium oxidu vyloučených technikou PECVD.

Czech description

TiO2 tenké filmy byly připraveny PECVD technikou. Směs titanium-IV-isopropoxidu s kyslíkem byla použita jako pracovní plyn. Filmy byly vyloučeny na skleněném a křemíkovém substrátu. Fotokatalytický efekt filmu oxidu titaničitého (TiO2) rozklad organických látek,. antibakterální a antivirový účinek a fotoindukovaná hydrofilita filmů byly vyšetřovány v závislosti na experimentálních podmínkách. Filmy byly charakterizovány SEM, AFM, XRD, RBS a XPS. Fotokatalytické vlastnosti filmů byly silně ovlivněny iontovým bombardováním a depoziční teplotou. Film s anatasovoum krystalovou strukturou a vysokou fotokatalytickou aktivitou byl nanesen při tak nízké teplotě jako je 120°C za bombardování nízkoenergetickými ionty.Foochemická aktrivita byla zkoušena na rozklad modelové organické látky Acid orange 7 (C16H11N2NaO4S), bakterie Escherichia coli a viru HSV-1 (Herpes Simplex Virus).

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JK - Corrosion and material surfaces

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M0577" target="_blank" >1M0577: Research centre for nanostructures engineering</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

International Conference Vacuum and Plasma Surface Engineering.

ISBN

80-7372-129-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

1

Pages from-to

22

Publisher name

Technical University of Liberec

Place of publication

Liberec

Event location

Liberec - Hejnice

Event date

Oct 26, 2006

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—