Plasma deposition of rutil-type TiO2 optical thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47677023%3A_____%2F14%3A%230000013" target="_blank" >RIV/47677023:_____/14:#0000013 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Plazmová depozice tenkých optických vrstev typu rutil - TiO2
Original language description
Plazmová depoziční technologie přípravy tenkých optických vrstev typu rutil-TiO2 s využitím hybridního plazmového HIPP depozičního systému založeného na kombinaci modifikovaných pulzních magnetronů a systému dutých katod s proudícím pracovním plynem
Czech name
Plazmová depozice tenkých optických vrstev typu rutil - TiO2
Czech description
Plazmová depoziční technologie přípravy tenkých optických vrstev typu rutil-TiO2 s využitím hybridního plazmového HIPP depozičního systému založeného na kombinaci modifikovaných pulzních magnetronů a systému dutých katod s proudícím pracovním plynem
Classification
Type
Z<sub>tech</sub> - Verified technology
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA01010517" target="_blank" >TA01010517: Modern multilayer optical structures.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2014
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
82311686-2014-OT02
Numerical identification
—
Technical parameters
Depoziční technologie zahrnuje parametry realizace vysoce ionizovaného plazmatu v hybridním plazmovém HIPP reaktoru, jenž je založen na kombinaci pulzních magnetronů, dutých katod a na technologii ECWR režimu excitace depozičního plazmatu
Economical parameters
bude využito ve vlastní výrobě
Application category by cost
—
Owner IČO
47677023
Owner name
Meopta - optika, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—