Spectral reflectrometry and white-light interferometry used to measure thin films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F47813059%3A19240%2F04%3A%230002012" target="_blank" >RIV/47813059:19240/04:#0002012 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Spectral reflectrometry and white-light interferometry used to measure thin films

Original language description

Two different spectral-domain techniques based on reflectometry and white-light interferometry are used to measure spectral characteristics of thin-film systems. A technique of spectral reflectometry uses a standard configuration with a halogen lamp, a reflection probe and a thin-film system under test to record the reflection spectrum over a wide range of wavelengths. A new white-light spectral interferometric technique uses a slightly dispersive Michelson interferometer with a cube beamsplitter to measure the phase spectra of reflective or transparent thin-film systems over a wide range of wavelengths. This technique is based on a Fourier transform method in processing the recorded spectral interferograms to obtain the ambiguous spectral fringe phasefunction...

Czech name

Využití spektrální reflektometrie a interferometrie v bílém světle pro měření tenkých filmů

Czech description

Dvě různé techniky ve spektrální doméně založené na reflektometrii a interferometrii v bílém světle jsou použity pro měření spektrálních charakteristik systémů s tenkými filmy. Technika spektrální reflektometrie používá standardní konfiguraci s halogenovou lampou, reflexní sondou a systémem testovaných tenkých filmů k záznamu reflexního spektra přes široký rozsah vlnových délek. Nová technika spektrální interferometrie v bílém světle používá lehce disperzivní Michelsonův interferometr a krychlovým děličem paprsku k měření fázového spektra reflexního nebo transparentního systému tenkých filmů přes široký rozsah vlnových délek.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE)

ISBN

0-8194-5379-X

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Number of pages

9

Pages from-to

—

Publisher name

SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING

Place of publication

BELLINGHAM, USA

Event location

Strasbourg, FRANCE

Event date

Jan 1, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

000224432300083