Modified experimental sputtering system OKS

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49610040%3A_____%2F13%3A%2A0000110" target="_blank" >RIV/49610040:_____/13:*0000110 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Modifikovaný experimentální naprašovací systém OKS

Original language description

Zařízení pro depozici velmi tenkých vrstev založené na principu magnetronového naprašování v reaktivním i nereaktivním módu. Celé zařízení je upraveno pro experimentání práci ve výrobě krystalických solárních článků. Díky dvěma různým katodám, čtyřem pracovním plynům a otočnému stolku nabízí možnost depozice široké škály vrstev (především dielektrických) nebo multivrstev, které jsou nanášeny na solární články k pasivaci jeho povrchu nebo jako antireflexní vrstvy pro zlepšení optických vlastností článků.Kapacita zařízení je 36 křemíkových substrátů velikosti 5". Dosahovaná homogenita vrstev se pohybuje na úrovni 2,5%.

Czech name

Modifikovaný experimentální naprašovací systém OKS

Czech description

Zařízení pro depozici velmi tenkých vrstev založené na principu magnetronového naprašování v reaktivním i nereaktivním módu. Celé zařízení je upraveno pro experimentání práci ve výrobě krystalických solárních článků. Díky dvěma různým katodám, čtyřem pracovním plynům a otočnému stolku nabízí možnost depozice široké škály vrstev (především dielektrických) nebo multivrstev, které jsou nanášeny na solární články k pasivaci jeho povrchu nebo jako antireflexní vrstvy pro zlepšení optických vlastností článků.Kapacita zařízení je 36 křemíkových substrátů velikosti 5". Dosahovaná homogenita vrstev se pohybuje na úrovni 2,5%.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/FR-TI1%2F603" target="_blank" >FR-TI1/603: Effective coating technology of thin passivation and antireflection layers for production of crystalline solar cells</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2013

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID

OKS

Numerical identification

—

Technical parameters

Funkční vzorek - zařízení OKS je experimentální zařízení pro naprašování tenkých dielektrických vrstev na povrch krystalických křemíkových solárních článků za účelem vytvoření antireflexní a pasivační vrstvy. Křemíkové substráty o velikosti 5 palců jsouv počtu 42 ks uloženy na planetovém sedmipatrovém otočném karuselu. Zařízení je vybaveno dvěma terči z různých kovů (např. Al, Ti). Dielektrické vrstvy vznikají v procesu reaktivního naprašování za přítomnosti kyslíku nebo dusíku. Výsledek slouží k vlastnímu využití a byla podepsána Smlouva o využití výsledků výzkumu a vývoje 2012/FR-TI1/603, s MPO ze dne 26.3.2013 . Kontaktní osoba: Ing. Renáta Zetková, tel: 601375825, email: renata.zetkova@solartec.cz

Economical parameters

Funkční vzorek experimentálního zařízení bude využit realizátorem pro vývoj speciálních zákaznických solárních článků s vysokou vzhledovou kvalitou. Funkční vzorek experimentálního zařízení dále bude sloužit jako předloha pro sestavení prototypu produkčního naprašovacího zařízení určeného pro komerční výrobu speciálních typů solárních článků. Výsledek bude využit realizátorem.

Application category by cost

—

Owner IČO

49610040

Owner name

Solartec s.r.o.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Licence fee requirement

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Web page

—