Pulsed dc mangetron discharges and their utilization in plasma surface engineering

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F04%3A00000225" target="_blank" >RIV/49777513:23520/04:00000225 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Pulsed dc mangetron discharges and their utilization in plasma surface engineering
Original language description
Fundamental aspects of magnetron operation in two types of practically interesting discharges, i.e. in high-power unipolar pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering and asymmetric bipolar pulsed dc magnetron discharges for reactive
Czech name
Pulzní DC magnetronové výboje a jejich využití v plazmovém inženýrství povrchů
Czech description
V článku jsou prezentovány výsledky zkoumání pulzních dc magnetronových výbojů z hlediska jejich základních aspektů činnosti a jejich využití v plazmovém inženýrství povrchů pro dva prakticky zajímavé případy, tj. vysokovýkonové unipolární pulzní dc magn

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/ME%20673" target="_blank" >ME 673: New resources of plasma for creation of thiny layers.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)