Effect of hydrogen on sputtering discharge and properties of TiO2 films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000150" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000150 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Effect of hydrogen on sputtering discharge and properties of TiO2 films

Original language description

This article reports on the effect of hydrogen addition into the Ar+O2 discharge mixture on the dc reactive magnetron sputtering prcess and on the structure of sputtered TiO2 films. The hydrogen plays a key role in reactive sputtering of electrically insulating oxides from metallic targets because it fully eliminates arcing on the sputtered target. The hydrogen also strongly influences the dependence of the partial pressure of oxygen po2 vs. flow rate of oxygen. Special attention is devoted to correlations between deposition parameters, structure, phase composition, optical properties and hydrophilic activity of TiO films. It is shown that the presence of H2 in the Ar+O2 mixture does not pravent from the formation of superhydrophilic TiO films.

Czech name

Vliv vodíku na výbojovou směs a vlastnosti TiO2 vrstev

Czech description

Tento článek pojednává o vlivu přidání vodíku do Ar+O2 výbojové směsi na proces dc reaktivního magnetronového naprašování a na strukturu naprašovaných TiO2 vrstev. Vodík má zásadní vliv při reaktivním naprašování elektricky nevodivých oxidů z kovových terčů, protože plně eliminuje mikroobloukům na rozprašovaném terči. Vodík také silně ovlivňuje závislost parciálního tlaku kyslíku pO2 vs. průtok kyslíku &#934;O2. Jsou vysvětleny změny v závislosti pO2=f(&#934;O2), které jsou způsobeny přidáním H2 do výbojové Ar+O2 směsi. Speciální pozornost je věnována korelacím mezi depozičními parametry, strukturou, fázovým složením, optickými vlastnostmi a hyd

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

XXVIII International conference on phenomena in ionized gases

ISBN

978-80-87026-01-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

675-678

Publisher name

Institute of Plasma Physics AS CR

Place of publication

Prague

Event location

Praha

Event date

Jan 1, 2007

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—