High-power pulsed magnetron sputtering: Model and experiments

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000200" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000200 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/49777513:23520/07:00000201

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

High-power pulsed magnetron sputtering: Model and experiments

Original language description

The original model developed by Christie (2005) for high-power pulsed magnetron sputtering was modified. A weak additional ionization of sputtered atoms in a plasma bulk was included and description of the losses of target material neutrals and ions wassimplified. The calculations were carried out for two technologically interesting materials (copper and titanium) with very different characteristics. A completely different trend in the calculated values of the deposition rate per unit discharge power input and the same trend in the values of the ionized fraction of sputtered atoms in the flux onto the substrate were confirmed by our measurements. The depositions were performed using a newly designed, strongly unbalanced magnetron system with a targetof 100mm in diameter.

Czech name

Vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování : Model a experimenty

Czech description

Byl modifikován původní model vyvinutý Christiem (2005) pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování.Slabá dodatečná ionizace rozprášených atomů byla zahrnuta do modelu a popis ztrát neutrálů a iontů terčového materiálu byl zjednodušen. Výpočty byly provedeny pro dva technologicky zajímavé materiály (měď a titan) s velmi rozdílnými vlastnostmi. Úplně odlišný trend vypočtených hodnot depoziční rychlosti na jednotku dodaného výkonu do výboje a stejný trend u hodnot ionizovaného podílu rozprašovanýchatomů v toku na substrát byly potvrzeny našimi měřeními. Depozice byly uskutečněny použitím nově navrženého, silně nevyváženého magnetronového systému s ter

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/ME%20673" target="_blank" >ME 673: New resources of plasma for creation of thiny layers.</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

XXVIII International conference on phenomena in ionized gases

ISBN

978-80-87026-01-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

625-628

Publisher name

Institute of Plasma Physics AS CR

Place of publication

Prague

Event location

Praha

Event date

Jan 1, 2007

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—