Effect of Hydrogen on Reactive Sputtering of Transparent Oxide Films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000204" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000204 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Effect of Hydrogen on Reactive Sputtering of Transparent Oxide Films

Original language description

The article reports on the effect of addition of H2 into a mixture of Ar+O2 on the process of dc reactive magnetron sputtering of oxides and the electrical conductivity of transparent oxide films. Four systems were investigated: In-Sn-O, TiO2, Ti-Y-O a ZrO2 fils. It was found that the addition of H2 into Ar+O2 sputtering gas mixture results in: decrease in the magnetron discharge voltage , strong change of the dependence and dramatic decrease of electrical resistivity of sputtered transparent oxide films. These results are described in detail.

Czech name

Vliv vodíku na reaktivní naprašování transparentních oxidových vrstev

Czech description

Tento článek pojednává o vlivu přidání H2 do výbojové Ar+O2 směsi na vlastní proces dc reaktivního magnetronového naprašování oxidů a na elektrickou vodivost transparentních oxidových vrstev. Byly zkoumány čtyři systémy: In-Sn-O, TiO2, Ti-Y-O a ZrO2. Bylo zjištěno, že přidání H2 do Ar+O2 výbojové směsi má za následek: pokles výbojového napětí, výraznou změnu závislosti a dramatický pokles elektrické rezistivity naprášených oxidových vrstev. Tyto výsledky jsou podrobně diskutovány.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

—

Country of publishing house

DE - GERMANY

Number of pages

1

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—