Relationship between mechanical properties and coefficient of friction of sputtered a-C/Cu composite thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F08%3A00500567" target="_blank" >RIV/49777513:23520/08:00500567 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Relationship between mechanical properties and coefficient of friction of sputtered a-C/Cu composite thin films
Original language description
The article reports on properties of a-C films containing different amount of Cu. Films were sputtered by unbalanced magnetron from a graphite target with Cu fixing ring in argon under different deposition conditions. Relationships between the structure,mechanical properties, macrostress and coefficient of friction of a-C/Cu films sputtered on Si substrates were investigated in detail. Besides, a special attention was concentrated on investigation of the effect of a deposition rate of the a-C/Cu film on its hardness and macrostress.
Czech name
Vztah mezi mechanickými vlastnostmi a koeficientem tření tenkých vrstev amorfního uhlíku s obsahem mědi připravených naprašováním.
Czech description
Článek popisuje mechanické vlastnosti vrstev amorfního uhlíku obsahujících různé množství mědi. Vrstvy byly připraveny pomocí nevyváženého magnetronu rozprašováním grafitového terče upevněného měděným kroužkem v argonové atmosféře při různých podmínkách.Detailně byl zkoumán vztah mezi strukturou, mechanickými vlastnostmi, makropnutím a koeficientem tření vrstev naprašovaných na křemíkové substráty. Zvláštní pozornost byla věnována zkoumání vlivu depoziční rychlosti na tvrdost a makropnutí vrstev.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Diamond and Related Materials
ISSN
0925-9635
e-ISSN
—
Volume of the periodical
17
Issue of the periodical within the volume
11
Country of publishing house
NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS
Number of pages
7
Pages from-to
—
UT code for WoS article
000260287600016
EID of the result in the Scopus database
—