Effect of the gas mixture composition on high-temperature behavior of magnetron sputtered Si-B-C-N coatings

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F08%3A00500721" target="_blank" >RIV/49777513:23520/08:00500721 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Effect of the gas mixture composition on high-temperature behavior of magnetron sputtered Si-B-C-N coatings

Original language description

The effect of the gas mixture composition on the high-temperature behavior of amorphous Si-B-C-N coatings was systematically investigated up to 1700 °C in a flowing air and inert gases. The Si-B-C-N coatings were deposited by reactive dc magnetron co-sputtering using a single B4C-Si target in two nitrogen-argon gas mixtures (50% N2+50% Ar or 25% N2+75% Ar). It was found that the Ar fraction in the gas mixture determines an important N/(Si+B+C) concentration ratio in the coatings, and hence their high-temperature behavior. The coating prepared with a 50% Ar fraction exhibits extremely high oxidation resistance up to 1400 °C and very high oxidation resistance up to 1600 °C in air, and extremely high thermal stability up to 1600 °C in inert gases.

Czech name

Vliv složení plynné směsi na vysokoteplotní chování vrstev systému Si-B-C-N

Czech description

Práce se zabývá vyšetřováním vlivu složení plynné směsi na vysokoteplotní chování amorfních vrstev Si-B-C-N do teploty 1700 °C v proudícím vzduchu a inertních plynech. Vrstvy Si-B-C-N byly připraveny metodou magnetronového rozprašování z terče B4C-Si vedvou dusíko-argonových plynných směsích (50% N2+50% Ar or 25% N2+75% Ar). Bylo zjištěno, že podíl argonu v plynné směsi určuje důležitý koncentrační poměr N/(Si+B+C) ve vrstvě a tím i vysokoteplotní chování této vrstvy. Vrstvy připravené s 50% argonovýmpodílem v plynné směsi vykazovaly extrémně vysokou oxidační odolnost do 1400 °C a velmi vysokou oxidační odolnost do teploty 1600 °C ve vzduchu a extrémně vysokou teplotní stabilitu do teploty 1600 °C v inertní atmosféře.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

203

Country of publishing house

NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

Number of pages

4

Pages from-to

—

UT code for WoS article

000261654100014

EID of the result in the Scopus database

—