Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F08%3A00501289" target="_blank" >RIV/49777513:23520/08:00501289 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air

Original language description

Novel quaternary Si-B-C-N materials are becoming increasingly attractive because of their possible high-temperature and harsh-environment applications. In the present work, amorphous Si-B-C-N films were deposited on Si and SiC substrates by reactive dc magnetron co-sputtering using a single C-Si-B or B4C-Si target in nitrogen-argon gas mixtures. Films deposited under optimized conditions (B4C-Si target, 50% N2 + 50% Ar gas mixture) exhibited extremely high oxidation resistance in air at elevated temperatures (even above 1500°C). Formation of protective surface layers (mainly composed of Si and O) was proved by high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM), Rutheford backscattering spectrometry (RBS) and X-ray diffraction (XRD) measurements after oxidization.

Czech name

Tvrdé amorfní vrstvy Si-B-C-N s ultravysokou teplotní stabilitou ve vzduchu

Czech description

Nové materiály kvaternárního systému Si-B-C-N jsou velmi zajímavé pro jejich možné využití za vysokých teplot a v agresivním prostředí. V této práci byly připraveny vrstvy Si-B-C-N na substráty Si a SiC za použití reaktivního dc magnetronového naprašování z terčů C-Si-B a B4C-Si v dusíko-argonové plynné směsi. Vrstvy připravené za optimalizovaných podmínek (terč B4C-Si, plynná směs 50% N2 + 50% Ar) vykazovaly extrémně vysokou oxidační odolnost ve vzduchu při zvýšených teplotách (dokonce nad 1500°C). Vytváření ochranných povrchových vrstev (skládajících se převážně z Si a O) během oxidace bylo potvrzeno pomocí transmisního elektronového mikroskopu s vysokým rozlišením (HRTEM), analýzy pružně rozptýlených nabitých částic (RBS) a rentgenové difrakce.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Technical Conference Proceedings

ISBN

—

ISSN

0737-5921

e-ISSN

—

Number of pages

5

Pages from-to

—

Publisher name

Society of Vacuum Coaters

Place of publication

Chicago

Event location

Chicago

Event date

Apr 24, 2008

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—