Structural and optical properties of PECVD a-Si:H influenced by different hydrogen dilutions
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000030" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000030 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Structural and optical properties of PECVD a-Si:H influenced by different hydrogen dilutions
Original language description
Thin films of hydrogenated amorphous silicon were deposited by plasma - enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen (dilution D range 5 – 40). Thickness of the samples was 300 nm. The applied techniques for structural and optical analysis were: XRD diffraction, UV- VIS spectrophotometry and FTIR. Micro-crystallite regions appeared only at higher hydrogen dilutions (D = 33, 40). Structure includes an amorphous phase with the short-range order are called protocrystalline silicon. Structural properties were obtained from the XRD analysis. The results of optical spectrometry measurement of the films are also presented.
Czech name
Strukturní a optické vlastnosti PECVD a-Si:H ovlivněné různým vodíkovým zředěním
Czech description
Tenké vrstvy hydrogenizovaného amorfního křemíku byly připraveny PECVD technologií ze silanu zředěného vodíkem (zředění D = 5 - 40). Tloušťka vrstev byla 300 nm. Použité techniky pro vyšetřování strukturních a optických vlastností jsou: rtg difrakce, UV- VIS spektrofotometrie a FTIR. Mikrokrystalické oblasti se objevily pouze při vyšším vodíkovém zředění (D= 33, 40). Struktura obsahující amorfní fázi s uspořádáním na krátkou vzdálenost je nazývána tzv. protokrystalickým křemíkem. Strukturní vlastnostibyly určeny z rtg analýzy. Dále jsou zde prezentovány výsledky z optické spektrometrie.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách
ISBN
978-80-969435-3-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
104-107
Publisher name
Slovenská vákuová spoločnosť
Place of publication
Bratislava
Event location
Štrbské Pleso
Event date
Jan 1, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—