Structural and optical properties of sputtered ZnO thin films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000048" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000048 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Structural and optical properties of sputtered ZnO thin films

Original language description

Zinc oxide (ZnO) and aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared by RF diode sputtering at varying deposition conditions. The effects of negative bias voltage and RF power on structural and optical properties were investigated. X-ray diffraction measurements (XRD)confirmed that both un-doped and Al doped ZnO films are polycrystalline and have hexagonal wurtzite structure. The preferential <001> orientation and surface roughness evaluated by AFM measurements showed dependence on appliedbias voltage and RF power. The sputtered ZnO and ZnO:Al films had high optical transmittance (>90%) in the wavelength range of 400-800 nm, which was not influenced by bias voltage and RF power.

Czech name

Strukturní a optické vlastnosti naprašovaných tenkých vrstev ZnO

Czech description

Tenké vrstvy oxidu zinečnatého (ZnO) a hliníkem dopovaného ZnO (ZnO:Al) byly připraveny vysokofrekvenčním diodovým naprašováním při různých depozičních podmínkách. Byl sledován vliv záporného předpětí a vysokofrekvenční výkon na strukturní a optické vlastnosti. Rtg měření potvrdily, že vrstvy ZnO (nedopovaná i dopovaná Al) jsou polykrystalické s hexagonální wurtzitovou strukturou. Přednostní orientace <001> a drsnost povrchu určená z AFM měření ukazují závislost použitého předpětí a vysokofrekvenčního výkonu. Naprášené tenké vrstvy ZnO a ZnO:Al mají vysokou optickou propustnost (>90%) ve spektrálním rozsahu 400-800 nm, která není ovlivněna předpětím a vy

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materials and components for environment protection</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Volume of the periodical

—

Issue of the periodical within the volume

—

Country of publishing house

NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

Number of pages

5

Pages from-to

3643

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—