Plasma Diagnostic for Development and Optimization of Plasma Activated Deposition Processes

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F04%3A00005610" target="_blank" >RIV/60076658:12410/04:00005610 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Plasma Diagnostic for Development and Optimization of Plasma Activated Deposition Processes

Original language description

Application of plasma diagnostic for process development is described. The electron and/or ion density is shown to be a proper parameter for plasma characterization. This value is sensitive to changes of most process parameters like reactor configuration, power delivered into the discharge, and accidental events like sparks appearance as well. The application of this diagnostic tool is demonstrated on development of large-scale plasma polymerization process and on characterization of particular plasma sources contribution to production of charged particles in dual microwave/radiofrequency deposition system used for development of scratch-resistant coatings for plastic parts.

Czech name

Diagnostika plazmatu pro vývoj a optimalizaci plazmových a depozičních procesů

Czech description

Je popsána aplikace diagnostiky plazmatu k vývoji procesu. Ukazuje se, že elektronová a iontová hustota jsou vhodné parametry k charakteristice plazmatu. Hustota je citlivá ke změnám vetšiny procesních charakteristik jako je reaktorová konfigurace, výkondodávaný do výboje, a k náhodným událostem jako je např. vzhled jisker. Aplikace tohoto diagnostického nástroje je demonstrována na vývoji polymerizace v procesech probíhajících ve velkém měřítku a k charakteristice speciálních zdrojů plazmatu produkujících nabité částice v duálním mikrovlnném radiofrekvenčním deposičním systému, použitém k deposici povrchů plastových částí odolných vůči mechanickému otěru.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

47th Annual Technical Conference Proceedings

ISSN

0737-5921

e-ISSN

—

Volume of the periodical

47

Issue of the periodical within the volume

-

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

5

Pages from-to

1-5

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—