Modelling of RF discharge in argon plasma

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F07%3A00008077" target="_blank" >RIV/60076658:12410/07:00008077 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Modelling of RF discharge in argon plasma

Original language description

An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts - particle model which simulates fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argon ions. In the particle model the positions and velocities of fast electrons are calculated by means of deterministic Verlet algorithm while the collision processes are treated by the stochastic way. For the solution of fluid equations, for slow electrons and positive argon ions, the Scharfetter-Gummel exponential algorithm was used. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate. Especially, the knowledge of waveform of the ion current is very important for experimental physicists during the deposition of thin fil

Czech name

Počítačové modelování RF výboje v argonovém plazmatu

Czech description

V našem příspěvku je prezentován 1D hybridní model RF výboje v nízkoteplotním argonovém plazmatu. Hybridní model se skládá ze dvou částí - částicové, pomocí které se simuluje pohyb rychlých elektronů a spojitou částí, zajišťující výpočet pomalých elektronů a argonových iontů. V první části jsou polohy a rychlosti počítány pomocí deterministického Verletova algoritmu, srážkové procesy jsou počítány pravděpodobnostně. Pro řešení parciálních diferenciálních rovnic pro pomalé elektrony a argonové ionty je používán Scharfetterův-Gummelův algoritmus. Výsledky z našich výpočtů jsou RF proud a průběh napětí na rovinné substrátu, vnořené do argonového plazmatu. Dalšími výsledky jsou průběhy elektronového, iontového a posuvného prouduna substrátu. Tyto výpočty jsou důležité pro experimentální fyziky, při depozici tenkých vrstev pomocí plazmatu.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/KAN101120701" target="_blank" >KAN101120701: Nanocomposite films and nanoparticles prepared in low pressure plasma for surface modifications</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

In: Simos, T.E., Maroulis, G.: Proceedings of contributed papers - ICCMSE 2007

ISBN

978-0-7354-0478-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

1240-1243

Publisher name

AIP, Melville, New York

Place of publication

Corfu, Greece

Event location

—

Event date

—

Type of event by nationality

—

UT code for WoS article

—