Modelling of RF discharge in argon plasma

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F08%3A00009199" target="_blank" >RIV/60076658:12410/08:00009199 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Modelling of RF discharge in argon plasma

Original language description

An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts- particle model which simulate fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argonions. In the particle model the positions and velocities of fast electrons are calculated by mean of deterministic Verlet algorithm while the collision processes are treated by the stochastic way. For the solution of fluid equations, for slow electrons and positive argon ions, the Scharfetter-Gummel exponential algorithm was use. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate.

Czech name

Počítačové modelování RF výboje v argonovém plazmatu

Czech description

V článku je prezentován 1D model elektrického výboje v nízkoteplotním argonovém plazmatu. Hybridní model sestává ze dvou částí ? částicového modelu, který simuluje rychlé elektrony a spojitého modelu simulujícího pomalé elektrony a ionty. V částicovém modelu jsou polohy a rychlosti částic určovány deterministicky Verletovo algoritmem, srážkové procesy jsou zavedeny stochastickými metodami. Rovnice spojitého modelu jsou řešeny pomocí Scharfetter-Gummelova exponenciálního schématu. Z výsledků je prezentován například celkový proud a napětí na rovinném substrátu, který je vložen do plazmatu. Dále jsou studovány iontové a elektronové vlny v okolí substrátu.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BK - Liquid mechanics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/KAN101120701" target="_blank" >KAN101120701: Nanocomposite films and nanoparticles prepared in low pressure plasma for surface modifications</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Computational Methods in Sciences and Engineering

ISBN

978-0-7354-0477-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

—

Publisher name

American Institute of Physics

Place of publication

Melville

Event location

—

Event date

—

Type of event by nationality

—

UT code for WoS article

—