Deposition of protective coatings in rf organosilicon discharges

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F07%3A00079403" target="_blank" >RIV/61389005:_____/07:00079403 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216224:14310/07:00022271

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Deposition of protective coatings in rf organosilicon discharges

Original language description

The paper discusses the deposition of protective coatings ranging from organosilicon plasma polymers to SiO2-like films and hard diamond-like carbon/silicon oxide (DLC : SiOx) coatings in radio frequency capacitively coupled discharges using hexamethyldisiloxane (HMDSO). As a result of the optimization of the deposition conditions it was possible to obtain highperformance protective coatings. In the HMDSO/O2 mixture, it was shown that rather than the SiO2-like film a hard cross-linked SiOxCyHz polymerfilm can be used as a protective coating for polycarbonate. The film hardness and elasticmodulus were 10 GPa and 75 GPa, respectively. The films deposited from HMDSO/CH4 and HMDSO/CH4/H2 mixtures exhibited the attractive properties of DLC films with the partial elimination of some of their drawbacks. The film hardness and elastic modulus were above 22 GPa and 120 GPa, respectively.

Czech name

Depozice ochranných vrstev spoužitím rf výboje v siloxanech

Czech description

V příspěvku sjou diskutovány vlastnosti ochranných vrstev připravených plasmatickou polymerizací organokřemičitých sloučenin strukturou blízkých SiO2 vrstvám až po diamantu podobné vrstvy (DLC : SiOx) připravené rf výbojem ze siloxanů. Výsledkem je optimalizace parametrů přípravy za účelem získání vysoce ochranné vrstvy s význačnými vlastnostmi. Ve směsi HMDSO/O2 bylo prokázáno, že vznikají spíše než SiO2 podobné vrstvy silně zasíťované polymerní vrstvy SiOxCyHz, které mohou být využity pro odolné vrstvy na polykarbonáty. Tvrdost a modul elasticity byly změřeny 10 GPa a 75 GPa. Vrstvy připravené ze směsí HMDSO/CH4 a HMDSO/CH4/H2 vykazují atraktivní vlastnosti DLC vrstev s částečnou eliminací jejich nedostatků. Tvrdost a modul elasticity byly měřeny s hodnotami nad 22 GPa a 120 GPa.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Plasma Sources Science & Technology

ISSN

0963-0252

e-ISSN

—

Volume of the periodical

16

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

10

Pages from-to

123-132

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—