Ion beam sputtering deposition of Pb(ZrTi)O3 thin films
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F17%3A00477052" target="_blank" >RIV/61389021:_____/17:00477052 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Příprava tenkých filmů Pb(Zr,Ti)O3 pomocí depozice iontovým svazkem
Original language description
Olovo-zirkonát-titanát Pb(Zr, Ti)O3 (PZT) je ferroeletkrický materiál zajímavý pro svou vysokou dielektrickou konstatnu a silnou piezoelektrickou odezvu. Tenké PZT vrstvy mohou být připraveny různými metodami, např. pulzní laservou depozicí, chemickým nanášením par, metodou sol-gel a nejčastěji naprašování používá častěji, mohou být tenké PZT vrstvy připaeni i naprašováním iontovým svazkem (IBS). V tomto článku studujeme depoziční proces tenkých PZT vrstev v našem systému depozice iontovým svazkem s možností asistenčního iontového svazku (IBAD). Soustředíme se zejména na ovlivnění kvality výsledných vrstev množstvím připouštěného kyslíku během depozice. Porovnáváme vzorky pěstované na křemíkovém substrátu s Ti mezivrstvou nebo bez ní.
Czech name
Příprava tenkých filmů Pb(Zr,Ti)O3 pomocí depozice iontovým svazkem
Czech description
Olovo-zirkonát-titanát Pb(Zr, Ti)O3 (PZT) je ferroeletkrický materiál zajímavý pro svou vysokou dielektrickou konstatnu a silnou piezoelektrickou odezvu. Tenké PZT vrstvy mohou být připraveny různými metodami, např. pulzní laservou depozicí, chemickým nanášením par, metodou sol-gel a nejčastěji naprašování používá častěji, mohou být tenké PZT vrstvy připaeni i naprašováním iontovým svazkem (IBS). V tomto článku studujeme depoziční proces tenkých PZT vrstev v našem systému depozice iontovým svazkem s možností asistenčního iontového svazku (IBAD). Soustředíme se zejména na ovlivnění kvality výsledných vrstev množstvím připouštěného kyslíku během depozice. Porovnáváme vzorky pěstované na křemíkovém substrátu s Ti mezivrstvou nebo bez ní.
Classification
Type
J<sub>ost</sub> - Miscellaneous article in a specialist periodical
CEP classification
—
OECD FORD branch
20504 - Ceramics
Result continuities
Project
<a href="/en/project/LO1206" target="_blank" >LO1206: Modern optical systems and technologies</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2017
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
62
Issue of the periodical within the volume
1
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
4
Pages from-to
18-21
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—