All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Ion beam sputtering deposition of Pb(ZrTi)O3 thin films

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F17%3A00477052" target="_blank" >RIV/61389021:_____/17:00477052 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Příprava tenkých filmů Pb(Zr,Ti)O3 pomocí depozice iontovým svazkem

  • Original language description

    Olovo-zirkonát-titanát Pb(Zr, Ti)O3 (PZT) je ferroeletkrický materiál zajímavý pro svou vysokou dielektrickou konstatnu a silnou piezoelektrickou odezvu. Tenké PZT vrstvy mohou být připraveny různými metodami, např. pulzní laservou depozicí, chemickým nanášením par, metodou sol-gel a nejčastěji naprašování používá častěji, mohou být tenké PZT vrstvy připaeni i naprašováním iontovým svazkem (IBS). V tomto článku studujeme depoziční proces tenkých PZT vrstev v našem systému depozice iontovým svazkem s možností asistenčního iontového svazku (IBAD). Soustředíme se zejména na ovlivnění kvality výsledných vrstev množstvím připouštěného kyslíku během depozice. Porovnáváme vzorky pěstované na křemíkovém substrátu s Ti mezivrstvou nebo bez ní.

  • Czech name

    Příprava tenkých filmů Pb(Zr,Ti)O3 pomocí depozice iontovým svazkem

  • Czech description

    Olovo-zirkonát-titanát Pb(Zr, Ti)O3 (PZT) je ferroeletkrický materiál zajímavý pro svou vysokou dielektrickou konstatnu a silnou piezoelektrickou odezvu. Tenké PZT vrstvy mohou být připraveny různými metodami, např. pulzní laservou depozicí, chemickým nanášením par, metodou sol-gel a nejčastěji naprašování používá častěji, mohou být tenké PZT vrstvy připaeni i naprašováním iontovým svazkem (IBS). V tomto článku studujeme depoziční proces tenkých PZT vrstev v našem systému depozice iontovým svazkem s možností asistenčního iontového svazku (IBAD). Soustředíme se zejména na ovlivnění kvality výsledných vrstev množstvím připouštěného kyslíku během depozice. Porovnáváme vzorky pěstované na křemíkovém substrátu s Ti mezivrstvou nebo bez ní.

Classification

  • Type

    J<sub>ost</sub> - Miscellaneous article in a specialist periodical

  • CEP classification

  • OECD FORD branch

    20504 - Ceramics

Result continuities

  • Project

    <a href="/en/project/LO1206" target="_blank" >LO1206: Modern optical systems and technologies</a><br>

  • Continuities

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Others

  • Publication year

    2017

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Name of the periodical

    Jemná mechanika a optika

  • ISSN

    0447-6441

  • e-ISSN

  • Volume of the periodical

    62

  • Issue of the periodical within the volume

    1

  • Country of publishing house

    CZ - CZECH REPUBLIC

  • Number of pages

    4

  • Pages from-to

    18-21

  • UT code for WoS article

  • EID of the result in the Scopus database