PZT thin films produced by ion-beam sputtering from a multicomponent target

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F18%3A00490478" target="_blank" >RIV/61389021:_____/18:00490478 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Tenké vrstvy PZT připravené iontovým naprašováním z vícesložkového terče

Original language description

Olovo zirkonát titanát (PZT) je široce používaný pro svoje feroelektrické a piezoelektrické vlastnosti, které jsou podmíněny perovskitovou strukturou. Krystalizace PZT do této preferované fáze je podmíněna mimo jiné také správným stechiometrickým složením, kde koncentrace olova je kritickým parametrem. Samotný proces krystalizace probíhá při vysokoteplotním žíhání, při kterém ovšem dochází k nežádoucímu snížení obsahu olova v deponované vrstvě. Proto je dobré připravit vrstvu s přebytkem olova, a tím tak kompenzovat jeho úbytek při žíhání. Z toho důvodu je tento článek zaměřen na řízení chemického složení tenkých filmů PZT pomocí naprašování iontovým svazkem (IBS). Vrstvy nanesené pomocí IBS by měly teoreticky vykazovat stejné chemické složení jaké má terč z kterého jsou nanášeny. Nicméně, v případě PZT je vhodné mít možnost kontrolovaně měnit chemické složení naprašovaných tenkých filmů pro dosažení vysokého perovskitového podílu. Naše studie odhalila, že určující obsah olova v PZT vrstvách připravených pomocí jednoduché a duální iontové depozice z vícesložkového terče může být snadno řízen výkonem primárního iontového zdroje. Současně, složení je také závislé na teplotě substrátu a energii iontů asistenčního iontového zdroje. Tenké PZT vrstvy byly připraveny s více než 30% přebytkem ze stechiometrického vícesložkového terče (tj. terč bez přebytku olova). Můžeme tedy navrhnout několik možných setů depozičních parametrů vhodných pro depozici PZT pomocí IBS pro dosažení vysokého perovskitového podílu.

Czech name

Tenké vrstvy PZT připravené iontovým naprašováním z vícesložkového terče

Czech description

Olovo zirkonát titanát (PZT) je široce používaný pro svoje feroelektrické a piezoelektrické vlastnosti, které jsou podmíněny perovskitovou strukturou. Krystalizace PZT do této preferované fáze je podmíněna mimo jiné také správným stechiometrickým složením, kde koncentrace olova je kritickým parametrem. Samotný proces krystalizace probíhá při vysokoteplotním žíhání, při kterém ovšem dochází k nežádoucímu snížení obsahu olova v deponované vrstvě. Proto je dobré připravit vrstvu s přebytkem olova, a tím tak kompenzovat jeho úbytek při žíhání. Z toho důvodu je tento článek zaměřen na řízení chemického složení tenkých filmů PZT pomocí naprašování iontovým svazkem (IBS). Vrstvy nanesené pomocí IBS by měly teoreticky vykazovat stejné chemické složení jaké má terč z kterého jsou nanášeny. Nicméně, v případě PZT je vhodné mít možnost kontrolovaně měnit chemické složení naprašovaných tenkých filmů pro dosažení vysokého perovskitového podílu. Naše studie odhalila, že určující obsah olova v PZT vrstvách připravených pomocí jednoduché a duální iontové depozice z vícesložkového terče může být snadno řízen výkonem primárního iontového zdroje. Současně, složení je také závislé na teplotě substrátu a energii iontů asistenčního iontového zdroje. Tenké PZT vrstvy byly připraveny s více než 30% přebytkem ze stechiometrického vícesložkového terče (tj. terč bez přebytku olova). Můžeme tedy navrhnout několik možných setů depozičních parametrů vhodných pro depozici PZT pomocí IBS pro dosažení vysokého perovskitového podílu.

Type

J_ost - Miscellaneous article in a specialist periodical

CEP classification

—

OECD FORD branch

20501 - Materials engineering

Project

<a href="/en/project/LO1206" target="_blank" >LO1206: Modern optical systems and technologies</a><br>

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2018

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Volume of the periodical

63

Issue of the periodical within the volume

2

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

4

Pages from-to

43-46

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—