Measurement of the thickness of SiO2 thin film on the silicon substrate using white-light spectral interferometry
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989100%3A27350%2F07%3A00016590" target="_blank" >RIV/61989100:27350/07:00016590 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle
Original language description
Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle
Czech name
Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle
Czech description
Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA202%2F06%2F0531" target="_blank" >GA202/06/0531: Reflection and waveguiding effects in magnetic nanostructures</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Fine Mechanics and Optics - Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
52
Issue of the periodical within the volume
1
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
4
Pages from-to
13-16
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—