All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Interferometrical system for bulge test thin film characterization

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F17%3A00482753" target="_blank" >RIV/68081723:_____/17:00482753 - isvavai.cz</a>

  • Alternative codes found

    RIV/68081731:_____/17:00482753

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán

  • Original language description

    Mechanické vlastnosti tenkých vrstev se mohou výrazně lišit od běžných materiálů. Příkladem metody pro jejich měření je například nanoindentace založená na zatlačování miniaturního hrotu do materiálu. Jinou metodou je tzv. bulge test, který je založen na určení mechanických vlastností (obvykle Youngova modulu a reziduálního napětí) samonosných tenkých vrstev (membrán) z jejich deformace při aplikování diferenčního tlaku z jedné jejich strany. Pro měření tvaru membrán během tohoto bulge testu byl vyvinut interferometrický systém.

  • Czech name

    Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán

  • Czech description

    Mechanické vlastnosti tenkých vrstev se mohou výrazně lišit od běžných materiálů. Příkladem metody pro jejich měření je například nanoindentace založená na zatlačování miniaturního hrotu do materiálu. Jinou metodou je tzv. bulge test, který je založen na určení mechanických vlastností (obvykle Youngova modulu a reziduálního napětí) samonosných tenkých vrstev (membrán) z jejich deformace při aplikování diferenčního tlaku z jedné jejich strany. Pro měření tvaru membrán během tohoto bulge testu byl vyvinut interferometrický systém.

Classification

  • Type

    D - Article in proceedings

  • CEP classification

  • OECD FORD branch

    10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Result continuities

  • Project

    Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

  • Continuities

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Others

  • Publication year

    2017

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Article name in the collection

    Sborník příspěvků multioborové konference LASER57

  • ISBN

    978-80-87441-21-3

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Number of pages

    2

  • Pages from-to

    39-40

  • Publisher name

    Ústav přístrojové techniky AV ČR

  • Place of publication

    Brno

  • Event location

    Třešť

  • Event date

    Nov 8, 2017

  • Type of event by nationality

    EUR - Evropská akce

  • UT code for WoS article