Noise in secondary electron emission: the low yield case

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00028799" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00028799 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Noise in secondary electron emission: the low yield case

Original language description

Studies concerning assessment of the image quality in scanning electron microscopes and studies evaluating the detective efficiency of the secondary electron detectors in these microscopes must be based on statistics of secondary electron emission. The vast majority of previous studies have applied Poisson statistics, although their prerequisites have not been satisfied in most cases. This paper is concerned with the limits to the applicability of Poisson statistics to secondary electron emission. Adequate definition of a non-Poisson factor in the variance of the number of secondary electrons emitted is discussed, and a simple formula for this factor is derived for the low yield case in which both the primary and backscattered electron are assumed notto release more than one secondary electron. These conditions are met with conductive specimens composed of light elements at primary electron energies of tens of keV.

Czech name

Šum sekundární emise elektronů při nízkém emisním výtěžku

Czech description

Studie zabývající se posuzováním kvality obrazu v rastrovacích elektronových mikroskopech a rovněž studie vyhodnocující detekční účinnost detektorů sekundárních elektronů v těchto mikroskopech je nutné založit na znalosti statistiky emise sekundárních elektronů. Drtivá většina dosavadních studií použila Poissonovu statistiku, ačkoliv její předpoklady nebyly vesměs splněny. Tento článek se zabývá mezemi použitelnosti Poissonovy statistiky na emisi sekundárních elektronů. Je diskutována vhodná definice faktoru odchylky od Poissonova rozdělení v případě variance počtu emitovaných sekundárních elektronů a je odvozen jednoduchý vzorec pro výpočet tohoto faktoru pro případ nízkého výtěžku, kdy ani primární ani zpětně odražený elektron neuvolní více než jedenelektron sekundární. Tyto podmínky jsou splněny u vodivých materiálů složených z lehkých prvků, a to při energii primárních elektronů v desítkách keV.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/IAA1065304" target="_blank" >IAA1065304: Multichannel spectro-microscopy with slow and Auger electrons</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal of Electron Microscopy

ISSN

0022-0744

e-ISSN

—

Volume of the periodical

54

Issue of the periodical within the volume

4

Country of publishing house

JP - JAPAN

Number of pages

5

Pages from-to

361-365

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—