Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons at Low Energies

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00082250" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00082250 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons at Low Energies

Original language description

New type of detection system has been designed and tested in the Scanning Electron Microscope. Backscattered electrons (BSE) at low energies of electron impact are collected by an annular detector above the specimen, consisting of eight concentric ring-shaped collectors arranged around the optical axis so that polar angles of the initial velocity vectors of electrons can be distinguished. Backscattering of electrons, in particular around and below 1 keV of impact energy, provides rich information content that even enhances toward higher angles with respect to the surface normal. Slow, high-angle BSE are normally not detected with standard detectors. The cathode lens principle was used to secure high lateral resolution, high collection efficiency and large amplification of the detector at low energies. Prospective applications include the grain orientation contrast, contrast between amorphous and crystallinic phases, etc.

Czech name

Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů při nízkých energiích

Czech description

Nový typ detekčního systému byl navržen a odzkoušen v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Zpětně odražené elektrony (BSE) buzené dopadem pomalých elektronů zachycuje nad vzorkem mezikruhový detektor tvořený osmi soustřednými kolektory prstencového tvaruuspořádanými kolem optické osy, takže je možné rozlišovat polární úhly vektorů počáteční rychlosti emitovaných elektronů. Zpětný odraz elektronů, zejména v okolí energie 1 keV a níže, zprostředkuje bohatý informační obsah obrazu, který se navíc zvýrazňuje směrem k vyšším úhlům vůči normále k povrchu. Pomalé vysokoúhlové BSE nejsou standardními detektory zachycovány. K zajištění vysokého rozlišení obrazu, vysoké sběrové účinnosti a vysokého zesílení detektoru na nízkých energiích byl využit princip katodové čočky. Mezi slibné aplikace patří pozorování kontrastu krystalových zrn, kontrastu mezi krystalickými a amorfními fázemi, atd.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Materials Transactions

ISSN

1345-9678

e-ISSN

—

Volume of the periodical

48

Issue of the periodical within the volume

5

Country of publishing house

JP - JAPAN

Number of pages

4

Pages from-to

940-943

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—