Scanning Low Energy Electron Microscopy of Doped Silicon at Units of EV

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00315452" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00315452 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Scanning Low Energy Electron Microscopy of Doped Silicon at Units of EV
Original language description
Scanning low energy electron microscope equipped with cathode lens was employed in observation of differently doped areas in silicon imaged at units of eV. The phenomena connected with injected charge, contamination and modulation of electron reflectivity are discussed.
Czech name
Zobrazení dopovaného křemíku na velmi nízkých energiích pomocí rastrovacího elektronového mikroskopu
Czech description
Rastrovací elektronový mikroskop vybavený katodovou čočkou byl použit pro studium křemíku s různě dopovanými oblastmi, které byly zobrazeny na velmi nízkých energiích (jednotky eV). Jsou diskutovány jevy související s injektovaným nábojem, kontaminací amodulací reflektivity signálních elektronů.

Project
<a href="/en/project/IAA100650803" target="_blank" >IAA100650803: Coherent imaging of nanostructures in a low-energy scanning electron microscope with an area detector of electrons</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
978-80-254-0905-3
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
—
Publisher name
Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i
Place of publication
Brno
Event location
Skalský dvůr
Event date
Jul 14, 2008
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)