Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00336643" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00336643 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony
Original language description
Funkční vzor manipulátoru vzorku je určen pro ultravysokovakuový rastrovací mikroskop s pomalými elektrony, vybavený tzv. katodovou čočkou, která přivádí na preparát vysoký potenciál. Tím jsou dopadající elektrony brzděny na libovolně nízkou energii dopadu. Preparát je jednou z elektrod katodové čočky a proto musí být k dispozici extrémně přesné vyrovnání rovnoběžnosti aktivního povrchu vzorku s anodou katodové čočky pomocí dvou jemně ovladatelných, nezávislých náklonů vzorku v navzájem kolmých rovinách. Manipulátor umožňuje dosáhnout zobrazení vzorku při libovolně nízké energii elektronů s vysokým rozlišením.
Czech name
Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony
Czech description
Funkční vzor manipulátoru vzorku je určen pro ultravysokovakuový rastrovací mikroskop s pomalými elektrony, vybavený tzv. katodovou čočkou, která přivádí na preparát vysoký potenciál. Tím jsou dopadající elektrony brzděny na libovolně nízkou energii dopadu. Preparát je jednou z elektrod katodové čočky a proto musí být k dispozici extrémně přesné vyrovnání rovnoběžnosti aktivního povrchu vzorku s anodou katodové čočky pomocí dvou jemně ovladatelných, nezávislých náklonů vzorku v navzájem kolmých rovinách. Manipulátor umožňuje dosáhnout zobrazení vzorku při libovolně nízké energii elektronů s vysokým rozlišením.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2009
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
5511-2
Numerical identification
—
Technical parameters
Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
Economical parameters
Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—