Practical E-Beam Lithography
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F13%3A00423948" target="_blank" >RIV/68081731:_____/13:00423948 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Praktická elektronová litografie
Original language description
Kniha předkládá čtenáři základní koncepty elektronové litografie a autorovy praktické zkušenosti za období třicetileté soustavné činnosti v oboru elektronové litografie a souvisejících technologických postupech.
Czech name
Praktická elektronová litografie
Czech description
Kniha předkládá čtenáři základní koncepty elektronové litografie a autorovy praktické zkušenosti za období třicetileté soustavné činnosti v oboru elektronové litografie a souvisejících technologických postupech.
Classification
Type
B - Specialist book
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2013
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
ISBN
978-80-87441-04-6
Number of pages
88
Publisher name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i
Place of publication
Brno
UT code for WoS book
—