Interferometric measuring system for deep reactive ion etching system

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F17%3A00482540" target="_blank" >RIV/68081731:_____/17:00482540 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Interferometrický odměřovací systém pro systém hlubokého reaktivního leptání
Original language description
Zařízení je určeno pro přesné měření hloubky leptu v systému hlubokého reaktivního leptání. Měření lze provádět v reálném čase, čímž umožňuje zastavit leptací proces po dosažení určité hloubky leptu a tím zpřesnit výrobu mikro a nanostruktur.
Czech name
Interferometrický odměřovací systém pro systém hlubokého reaktivního leptání
Czech description
Zařízení je určeno pro přesné měření hloubky leptu v systému hlubokého reaktivního leptání. Měření lze provádět v reálném čase, čímž umožňuje zastavit leptací proces po dosažení určité hloubky leptu a tím zpřesnit výrobu mikro a nanostruktur.

Project
<a href="/en/project/LO1212" target="_blank" >LO1212: ALISI - Centre of advanced diagnostic methods and technologies</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year
2017
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
APL-2017-08
Numerical identification
APL-2017-08
Technical parameters
Systém slouží k přesnému měření hloubky leptu v systému hlubokého reaktivního leptání. Je vybaven náhledovým kamerovým systémem umožňující kontrolu procesu výroby mikrostruktur. K odměřování hloubky leptu je použit He-Ne laser o vlnové délce 543 nm. Pro detekci signálu je použita metoda homodynní detekce. Konstrukce je složena z tříosých kinematických držáků optických komponent (kolimátoru, koutových odražečů, děliče svazku a detekční jednotky). Nastavení opto-mechanických komponent je provedeno kinematickými závěsy s precizním nastavením. Pro minimalizaci teplotní roztažnosti je celá sestava vyrobena z duralové slitiny.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Tadeáš Maňka, manka@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)