SMV-2018-20: Electron optical propertis of the multibeam electron source
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F18%3A00499162" target="_blank" >RIV/68081731:_____/18:00499162 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů
Original language description
Elektronový svazek je generovaný v jednom auto-emisním elektronovém zdroji, a na jednotlivé se svazečky se rozdělí na speciální apertuře, na které je 14x14 malých kruhových aperturek. Ty zároveň fungují jako čočky pro každý svazeček. Byla studována možnost korekce sklenutí pole a astigmatizmu a vzájemný vliv jednotlivých aperturek pomoci 3D výpočtu pole.
Czech name
SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů
Czech description
Elektronový svazek je generovaný v jednom auto-emisním elektronovém zdroji, a na jednotlivé se svazečky se rozdělí na speciální apertuře, na které je 14x14 malých kruhových aperturek. Ty zároveň fungují jako čočky pro každý svazeček. Byla studována možnost korekce sklenutí pole a astigmatizmu a vzájemný vliv jednotlivých aperturek pomoci 3D výpočtu pole.
Classification
Type
V<sub>souhrn</sub> - Summary research report
CEP classification
—
OECD FORD branch
20201 - Electrical and electronic engineering
Result continuities
Project
—
Continuities
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Others
Publication year
2018
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Number of pages
5
Place of publication
Brno
Publisher/client name
FEI CZECH REPUBLIC
Version
—