Calibration structures

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F24%3A00603699" target="_blank" >RIV/68081731:_____/24:00603699 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Kalibrační struktury
Original language description
Vzorek obsahující struktury různých materiálů bude sloužit k preciznímu a snadnému nastavení metody filtrace sekundárních elektronů s pomocí in-lens detektoru. nMateriály vzorku jsou totiž voleny tak, aby se jejich výtěžek sekundárních elektronů výrazně lišil v několika definovaných rozsazích energií, při přechodu z jednoho energetického rozsahu do druhého dojde k inverzi vzájemného kontrastu pozorovaného v energiově filtrovaném obrazu sekundárních elektronů.
Czech name
Kalibrační struktury
Czech description
Vzorek obsahující struktury různých materiálů bude sloužit k preciznímu a snadnému nastavení metody filtrace sekundárních elektronů s pomocí in-lens detektoru. nMateriály vzorku jsou totiž voleny tak, aby se jejich výtěžek sekundárních elektronů výrazně lišil v několika definovaných rozsazích energií, při přechodu z jednoho energetického rozsahu do druhého dojde k inverzi vzájemného kontrastu pozorovaného v energiově filtrovaném obrazu sekundárních elektronů.

Project
<a href="/en/project/TN02000020" target="_blank" >TN02000020: Centre of Advanced Electron and Photonic Optics</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year
2024
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
APL-2024-15
Numerical identification
TN02000020/014-V01
Technical parameters
Kalibrační struktura mikroskopických rozměrů vytvořená na křemíkové podložce. Části mikrostruktury jsou odděleny ostrými přechody a jsou ze tří materiálů vykazujících rozdílnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů ve strukturách je 300 um. Rozměry struktur jsou 1 um do 10 um v závislosti na použitém materiálu struktury.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem interního využití mezi partnery projektu. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
O - Doposud nevyužívaný výsledek
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)