Pre- and postextraction analyses of different charge state ion components produced in a laser ion source

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00048439" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00048439 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Pre- and postextraction analyses of different charge state ion components produced in a laser ion source

Original language description

Extracted Cu and Al ions from UV excimer-laser-produced plasmas were accelerated and implanted into a substrate. Depth profiles of ions in the substrate and analyses of time-of-flight spectra of ions are presented.

Czech name

Pre a post extrakční analýzy různých nábojových stavů iontů produkovaných laserovým iontovým zdrojem

Czech description

Jsou prezentovány výsledky analýzy time-of-flight spekter iontů mědi a hliníku generovaných pomocí XeCl eximerového laseru, které jsou po extrakci z plazmatu a následném urychlení implantovány do Si substrátu. Jsou uvedeny hloubkové profily implantovaných iontů.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/LC528" target="_blank" >LC528: Centre of Laser Plasma</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Review of Scientific Instruments

ISSN

0034-6748

e-ISSN

—

Volume of the periodical

77

Issue of the periodical within the volume

3

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

3

Pages from-to

—

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—