Manipulator for ion implantation into substrates in vertical position
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A00160429" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:00160429 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Manipulátor pro iontovou implantaci do substrátů ve vertikální poloze
Original language description
Manipulátor pro iontovou implantaci do substrátů ve vertikální poloze byl vyvinut a zkonstruován pro homogenní iontovou implantaci v geometrickém uspořádání zabezpečujícím kolmý dopad iontového svazku na rovinnou plochu substrátu. V tomto uspořádání se dosahuje největšího doletu iontů v substrátu a minimální iontové rozpašování. Homogenní iontová implantace je dosahována rotací substrátu, která je zajištěna příslušným převodním mechanismem.
Czech name
Manipulátor pro iontovou implantaci do substrátů ve vertikální poloze
Czech description
Manipulátor pro iontovou implantaci do substrátů ve vertikální poloze byl vyvinut a zkonstruován pro homogenní iontovou implantaci v geometrickém uspořádání zabezpečujícím kolmý dopad iontového svazku na rovinnou plochu substrátu. V tomto uspořádání se dosahuje největšího doletu iontů v substrátu a minimální iontové rozpašování. Homogenní iontová implantace je dosahována rotací substrátu, která je zajištěna příslušným převodním mechanismem.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JQ - Machinery and tools
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
12102 - P02 - 2008 - 11
Numerical identification
—
Technical parameters
Iontová implantace do substrátů ve vertikální poloze
Economical parameters
4 000 Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
68407700
Owner name
České vysoké učení technické v Praze, Fakulta strojní
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—