Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00053681" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00053681 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge
Original language description
Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode
Czech name
Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody
Czech description
Byla realizována laserová absorpční spektroskopie Al atomů pulsního magnetronového výboje v čistém argonu a v plynných směsích typu argon/kyslík a argon/metan .Časově průměrné hodnoty hustoty a teploty naprašovaných Al atomů byly získány z absorpčních měření. Měřená hodnota hustoty závisí lineárně na pulsním proudu a vykazuje malou závislost na tlaku.Kritický tok kyslíku je podstatně vyšší v pulsním módu ve srovnání s DC módem

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)