Hardness and elastic modulus of amorphous and nanocrystalline SiC and Si films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00307730" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00307730 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/61989592:15310/08:00007691

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Hardness and elastic modulus of amorphous and nanocrystalline SiC and Si films

Original language description

Hydrogen-free amorphous and nanocrystalline films were prepared by magnetron sputtering of the SiC or Si targets. Mechanical properties (hardness, elastic modulus, intrinsic stress) and film structures were investigated in dependence on the substrate bias and temperature. It was found that both hardness and elastic modulus of all amorphous a-SiC films prepared at different substrate temperatures and biases are always lower than those for bulk ?-SiC single crystal while the hardness of partially crystalline SiC films is higher and the elastic modulus lower than those for ?-SiC one. In contrast, both hardness and elastic modulus of all amorphous Si films are always lower than those for nanocrystalline Si films which show approximately the same value as the Si single crystal.

Czech name

Tvrdost a modul pružnosti amorfních a nanokrystalických filmů SiC a Si

Czech description

Vodíkuprosté amorfní a nanokrystalické filmy byly připraveny magnetronovým rozprašováním Targetů SiC a Si. V závislosti na "bias" a teplotě substrátů byly zkoumány jejich mechanické vlastnosti (tvrdost, modul pružnosti, vnitřní pnutí). Bylo zjištěno, žetvrdost a modul pružnosti všech amorfních a-SiC filmů byl menší než pro "bulk" ?-SiC monokrystalu. Částečně krystalické filmy SiC měly vyšší tvrdost a nižší modul pružnosti než ?-SiC. Naproti tomu amorfní filmy Si měly všechny tvrdost a modul pružnosti nižší než Si filmy nanokrystalické, které vykázaly přibližně tytéž hodnoty jako monokrystal Si.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Volume of the periodical

202

Issue of the periodical within the volume

-

Country of publishing house

CH - SWITZERLAND

Number of pages

8

Pages from-to

1738-1745

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—