Magnetron sputter head for black metal coating
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00569054" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00569054 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Magnetronová hlava pro naprašování povlaků černých kovů
Original language description
Funkční vzorek „Magnetronová hlava pro naprašování povlaků černých kovů“ vznikl ve Fyzikálním ústavu, AVČR, v.v v rámci projektu „Upscaling magnetron sputtering head for black metal coatings fabrication“ program GAMA 2, TP01010035 s finanční podporou TAČR.Magnetronová hlava může být využita pro naprašování vrstev kovů a černých kovů. Hlava má tvar obdélníkové katody o rozměrech 9 cm x 15 cm. Konstrukce hlavy umožňuje snadnou demontáž na jednotlivé díly. Vodou chlazený terč s rozměry 7 cm x 14 cm může být snadno vyměněn. Je možné pokrývat obdélníkové plochy do velikosti 6 cm x 13 cm. Magnetické pole je vytvářeno pomocí permanentních magnetů umístěných pod terčem v prostoru s chlazením. Magnetronový výboj může být generován pomocí AC, DC, pulzních napájecích zdrojů. Limitní výkon magnetronu je 1000 W. Výboj může být udržován od tlaku pracovního plynu (argon) 0,5 Pa. Směs argonu a dalších plynů může být s výhodou využita pro depozici vrstev černých kovů, např. černého hliníku.
Czech name
Magnetronová hlava pro naprašování povlaků černých kovů
Czech description
Funkční vzorek „Magnetronová hlava pro naprašování povlaků černých kovů“ vznikl ve Fyzikálním ústavu, AVČR, v.v v rámci projektu „Upscaling magnetron sputtering head for black metal coatings fabrication“ program GAMA 2, TP01010035 s finanční podporou TAČR.Magnetronová hlava může být využita pro naprašování vrstev kovů a černých kovů. Hlava má tvar obdélníkové katody o rozměrech 9 cm x 15 cm. Konstrukce hlavy umožňuje snadnou demontáž na jednotlivé díly. Vodou chlazený terč s rozměry 7 cm x 14 cm může být snadno vyměněn. Je možné pokrývat obdélníkové plochy do velikosti 6 cm x 13 cm. Magnetické pole je vytvářeno pomocí permanentních magnetů umístěných pod terčem v prostoru s chlazením. Magnetronový výboj může být generován pomocí AC, DC, pulzních napájecích zdrojů. Limitní výkon magnetronu je 1000 W. Výboj může být udržován od tlaku pracovního plynu (argon) 0,5 Pa. Směs argonu a dalších plynů může být s výhodou využita pro depozici vrstev černých kovů, např. černého hliníku.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20506 - Coating and films
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TP01010035" target="_blank" >TP01010035: PHysics, Applied Research for Novel TECHnologies</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2022
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
Magnetronová hlava pro naprašováni černých kovů
Numerical identification
—
Technical parameters
Magnetronová hlava tvaru obdélníkové katody o rozměrech 9 cm x 15 cm, Vodou chlazený terč s rozměry 7 cm x 14 cm, Limitní výkon magnetronu 1000 W, tlak pracovního plynu (argon) 0,5 Pa
Economical parameters
200 000 Kč
Application category by cost
—
Owner IČO
68378271
Owner name
Fyzikální ústav AVČR, v. v. i., Na Slovance 2, 182 21 Praha 8
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—