Measuring probe with nanocrystalline diamond coating and detection circuit for microscopic electrical measurements
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F24%3A00378082" target="_blank" >RIV/68407700:21230/24:00378082 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://doi.org/10.5281/zenodo.14739109" target="_blank" >https://doi.org/10.5281/zenodo.14739109</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Měřící sonda s nanokrystalickým diamantovým povlakem a detekčním obvodem pro mikroskopická elektrická měření
Original language description
Jedná se o funkční vzorek měřící sondy s vodivým nanokrystalickým diamantovým povlakem na hrotu a vlastním elektronickým obvodem pro detekci sil působících na sondu bez pomoci laseru (tzv. „self-sensing“ sonda). Klíčové pro výrobu sondy je lokální nanesení diamantových částice v mikroskopické oblasti na hrotu sondu a vyladění gradientu tepelné vodivosti podél sondy tak, aby v plazmatickém CVD procesu narostl kvalitní vodivý diamant na hrotu sondy a současně nebyl poškozen elektronický detekční obvod na těle sondy. Výsledná sonda tvoří funkční celek s nosičem pro uchycení a měření v mikroskopu. Funkčnost sondy byla ověřena experimenty s měřením struktury a elektrického proudu na kovových a polovodičových nanostrukturách. Funkční vzorek byl vyvinut v rámci mezinárodního projektu agentury TAČR.
Czech name
Měřící sonda s nanokrystalickým diamantovým povlakem a detekčním obvodem pro mikroskopická elektrická měření
Czech description
Jedná se o funkční vzorek měřící sondy s vodivým nanokrystalickým diamantovým povlakem na hrotu a vlastním elektronickým obvodem pro detekci sil působících na sondu bez pomoci laseru (tzv. „self-sensing“ sonda). Klíčové pro výrobu sondy je lokální nanesení diamantových částice v mikroskopické oblasti na hrotu sondu a vyladění gradientu tepelné vodivosti podél sondy tak, aby v plazmatickém CVD procesu narostl kvalitní vodivý diamant na hrotu sondy a současně nebyl poškozen elektronický detekční obvod na těle sondy. Výsledná sonda tvoří funkční celek s nosičem pro uchycení a měření v mikroskopu. Funkčnost sondy byla ověřena experimenty s měřením struktury a elektrického proudu na kovových a polovodičových nanostrukturách. Funkční vzorek byl vyvinut v rámci mezinárodního projektu agentury TAČR.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20506 - Coating and films
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TM03000033" target="_blank" >TM03000033: TACOM - Development of correlative AFM and SEM/AirSEM microscope</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2024
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
TCM2024-1
Numerical identification
TCM2024-1
Technical parameters
Sonda na bázi křemíkového MEMS čipu je dále smontována a elektricky propojena s PCB nosičem, se kterým tvoří kompletní funkční celek pro uchycení a měření v mikroskopu. Celkové rozměry jsou přibližně 15 x 10 mm. Na hrotu je nanokrystalická diamantová vrstva o tloušťce 100 – 500 nm. Na těle sondy je detekční obvod průhybu. Vyrobené zařízení umožňuje studovat morfologii a elektrické vlastností vzorků mikroskopem atomárních sil ve vakuu, na vzduchu a v dalších prostředích. Výsledek vznikl v rámci spolupráce mezi partnery v projektu TAČR TM03000033. Na výsledku proto mají podíl Fakulta elektrotechnická, České vysoké učení technické v Praze (IČO 68407700, 80%) a firma Nenovision, s.r.o. (IČO 04525671, 20%). Po ukončení projektu bude uzavřena smlouva o využití výsledků.
Economical parameters
Výsledek je využíván pro další technické a ekonomické aktivity dvěma partnery Fakulta elektrotechnická, České vysoké učení technické v Praze (IČO 68407700), a Nenovision, s.r.o. (IČO 04525671). V případě komerčního využití očekáváme tržby v řádu MKč/ročně.
Application category by cost
—
Owner IČO
68407700
Owner name
České vysoké učení technické v Praze / Fakulta elektrotechnická
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
https://doi.org/10.5281/zenodo.14739109