Optical and Structural Properties of Microcrystalline Silicon, Grown by Microwave PECVD

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F05%3A04116669" target="_blank" >RIV/68407700:21340/05:04116669 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical and Structural Properties of Microcrystalline Silicon, Grown by Microwave PECVD

Original language description

We investigated the deposition of &#61549;c-Si by microwave PECVD. MWPECVD is an excellent tool for fast deposition of silicon at low temperatures, however, this fast growth is often accompanied with high porosity. In order to obtain dense Si layers we investigated a large deposition parameter space.

Czech name

Optické a strukturní vlastnosti mikrokrystalického křemíku, vyrobeného mikrovlnnou PECVD

Czech description

Zkoumali jsme deposici mikrokrystalického křemíku mikrovlnnou technikou PECVD. MWPECVD je vynikající prostředek ke zprostředkování rychlé depozice křemíku při nízkých teplotách, nicméně, tento rychlý růst je často doprovázen vysokou porositou. Za účelemdosažení celistvosti křemíkových vrstev jsme zkoumali parametry prostoru rozsáhlé depozice.

Type

A - Audiovisual production

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

ISBN

3-936338-19-1

Place of publication

München

Publisher/client name

—

Version

—

Carrier ID

neuvedeno