Micro- and nanoprocessing of organic polymers using a compact laser plasma EUV source equipped with EUV optical systems

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F07%3A04138133" target="_blank" >RIV/68407700:21340/07:04138133 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Micro- and nanoprocessing of organic polymers using a compact laser plasma EUV source equipped with EUV optical systems
Original language description
Results on micro- and nanoprocessing of organic polymers with extreme ultraviolet (EUV) radiation from a compact laser plasma EUV source based on a gas puff target are presented in the paper. Processing of polymers is connected with non-thermal ablationunder the influence of energetic EUV photons. The process can be useful for practical applications as it makes possible to produce structures with sub-micron spatial resolution that is not possible using the thermal ablation. The new technology will be used for production of photonic microstructures and for modification of polymer surfaces for biomedical applications.
Czech name
Mikro a nanomanipulace organickými materiály s použitím kompaktního EUV zdroje založeného na laserové plasmě a EUV optice
Czech description
Jsou prezentovány výsledky mikro a nanomanipulací organickými polymery s EUV zářením z kompaktního zdroje založeného na laserové plasmě. Manipulace je spojena s netermální ablací vlivem EUV fotonů. Proces lze prakticky využít pro tvorbu submikronových struktur v případech, kdy není možné použít termální ablaci, například v biomedicínských aplikacích.

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)