Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

Podpora začínajících pracovníků výzkumu (Národní program výzkumu)

Veřejná soutěž

Podpora začínajících pracovníků výzkumu 3 (SMSM2004001K3)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

11674/2005-31

Název projektu anglicky

Synthesis of new Si-O(N)-C materials by plasma enhanced CVD

Anotace anglicky

The purpose of the project is the synthesis of new Si-O-C:H polymers variable in their nanostructure and organic-inorganic character and the synthesis of hard protective Si-O-C and Si-N-C films exhibiting low internal stress and good adhesion to different substrates. Siloxane polymers will be prepared by PECVD in r.f. plasma of glow discharge with organosilicon reactants (hexamethyldisiloxan, oktamethylcyklotetrasiloxan, dekamethylcyklopentasiloxan) under low ion bombardment. The novelty of the proposedapproach consists in application of pulsed r.f. discharge that makes possible changes in monomer structure retention by variation of the duty cycle. Hard Si-O-C and Si-N-C films will be prepared in capacitively and inductively coupled r.f. discharge under ion bombardment assistance. Namely the nanocomposite DLC:SiOx films will be prepared in connection with previous successful experiments and their deposition will be optimized for various substrate materials (glass, metals, plastics). Prepared films wi

Kategorie VaV

NV - Neprůmyslový výzkum (aplikovaný výzkum s výjimkou průmyslového)

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - další vedlejší obor

JI - Kompositní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Cíle projektu byly splněny a dosažené výsledky byly publikovány v renomovaných časopisech. Kvalita výstupů svým rozsahem převyšuje běžný standard, který by odpovídal rozsahu a nákladům projektu.

Zahájení řešení

1. 1. 2005

Ukončení řešení

31. 12. 2007

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

16. 2. 2007

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP08-MSM-1K-U/01:1

Datum dodání záznamu

19. 5. 2008

Celkové uznané náklady

1 513 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

953 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

561 tis. Kč