Nové nízkoteplotní plazmatické depoziční technologie tenkých vrstev Ba1-xSrxTiO3 pro laditelné mikrovlnné aplikace
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Podpora projektů cíleného výzkumu (Národní program výzkumu)
Veřejná soutěž
Podpora projektů cíleného výzkumu 1 (SAV02005-CI)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
1QS100100563
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
New low temperature plasmatic deposition technologies of Ba1-xSrxTiO3 thin films for tunable microwave applications
Anotace anglicky
On the basis of existing results of basic reseach, the aim of proposal is development of low temperature plasma methods for deposition of the thin films. The methods will be finally targeted to realisation of the base of industrial technological processfor deposition of Ba1-xSrxTiO3 (BST) thin films structures for tunable microwave application. The main goal will be to achieve BST films with maximal dielectric constant ? and minimal losses tg ? in microwave range ? 10 GHz without necessity of post-deposition thermal treatment. The effort will be focused on obtaining thin films with required structures in the range from micro- to nanostructure phase by means of the control of deposition conditions. The next part of the results of targeted research willbe development of new methods of BST films characterisation in the microwave range.
Vědní obory
Kategorie VaV
NV - Neprůmyslový výzkum (aplikovaný výzkum s výjimkou průmyslového)
CEP - hlavní obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
CEP - vedlejší obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - další vedlejší obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Na základě výsledků výzkumu získaných v rámci projektu byla vyvinuta nová nízkoteplotní plazmatická technologie přípravy tenkovrstvých Ba1-xSrxTiO3 struktur pro mikrovlnné aplikace bez nutnosti dalšího tepelného zpracování po depozici.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 7. 2005
Ukončení řešení
31. 12. 2008
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
21. 2. 2008
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP09-AV0-1Q-U/03:3
Datum dodání záznamu
2. 7. 2009
Finance
Celkové uznané náklady
4 694 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
4 694 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč