Výzkum dielektrických vrstev TixSiyOz připravených plazmochemickou metodou (PECVD) pro optické a elektronické aplikace

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

Šestý rámcový program Evropského společenství pro výzkum, technický rozvoj a demonstrační činnosti

Veřejná soutěž

FP6-2002-Mobility-9

Hlavní účastníci

Masarykova univerzita / Středoevropský technologický institut

Druh soutěže

RP - Spolufinancování programu EK

Číslo smlouvy

7AMB15FR036

Název projektu anglicky

Investigation of TixSiyOz dielectric layers deposited by PECVD for optical and electronic applications

Anotace anglicky

The goal of the proposed project is to deposit TixSiyOz films with properties suitable for applications as high performace capacitors and/or advanced optical coatings. Both these applications utilize unique properties of TiO2 but the limitation imposed by TiO2 intrinsic properties will be solved by mixing it with silicon oxide. The aim is to describe deposition procedure that can be applied at low temperature and belongs to environmentally friendly processes. Therefore, PECVD technology was selected forthis project. There are several objectives associated with the main goal of the project: Find plasma conditions suitable for the deposition of a high quality conformal dielectric coating. Identify conditions for depositoin of uniform and homogeneous TixSiyOz films with tunable optical properties. Understand the key mechanism governing the film growth morphology and structure and, therefore, efficiently optimize their properties. Determine wheather TixSiyOz materials are composed of one homogenous phasebased on atomic Ti-O-Si mixing or there are several separate phases, namely TiOx and SiOx. This objective also includes determination of conditions that favour the presence of nanocrystallites and investigation how they can influence the functional properties.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt byl realizován v rámci Aktivity MOBILITY, jejímž hlavním cílem je navázání a prohlubování kontaktů se zahraničními výzkumnými institucemi. Neprobíhá tedy kontrola dílčích výstupů projektu prostřednictvím hodnotící komise, avšak je kontrolována správnost čerpání přidělených financí a přiměřenost jejich využití.

Zahájení řešení

1. 1. 2015

Ukončení řešení

31. 12. 2016

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

30. 3. 2016

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP17-MSM-7A-U/02:1

Datum dodání záznamu

28. 6. 2017

Celkové uznané náklady

108 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

108 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč