Nízkoteplotní hybridní mikrovlnné plazmové zdroje s vysokým stupněm ionizace uspořádaných v matricové konfiguraci umožňujících depozice perspektivných materiálů a jejich (nano) kompozitů na 2D a 3D objekty

Poskytovatel

Technologická agentura ČR

Program

Program na podporu aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje ALFA

Veřejná soutěž

ALFA 1 (STA02011TA01)

Hlavní účastníci

SVCS Process Innovation s.r.o.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

20110108

Název projektu anglicky

Hybrid high-density low-temperature microwave plasma sources in matrix configuration suitable for growth of advanced materials and their (nano) composites on 2D and 3D substrates

Anotace anglicky

Main goal of the proposed project is design, development and realization of hybrid and fully modular microwave plasma assisted chemical vapor deposition system based on high-density cold-plasma generated by surfatron suitable for growth of novel and advanced materials and their (nano) composite forms such as oxides (TiO2, ZnO) or diamond. The main challenging part of the project is fulfilling several industrial aspects in one platform where requirements like implementation of 2D/3D geometrically shapedsubstrates, large area, low temperature growth, high reliability and reproducibility of whole plasma deposition process and long-term well defined process conditions will be combined. For this purpose, such plasma system either in radial or linear arrangement will be systematically studied by variety of analytic conditions as the function of process parameters (total pressure, gas mixture, plasma source geometry, etc.). The final deposition system will be the backbone for further industrial uses.

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - další vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Jedná se o předběžné údaje, neproběhlo schválení poskytovatele.

Zahájení řešení

1. 1. 2011

Ukončení řešení

31. 12. 2014

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 2. 2013

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP15-TA0-TA-U/04:1

Datum dodání záznamu

10. 7. 2020

Celkové uznané náklady

29 820 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

23 631 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

6 189 tis. Kč