Studium vícetryskového systému s plazmovými kanály a dutými katodami pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Juniorské badatelské grantové projekty

Veřejná soutěž

Juniorské badatelské grantové projekty 1 (SAV02003-XJ)

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films

Anotace anglicky

The aim of the project will be investigation of the low pressure multi- plasma jet sputtering system used for the temperature deposition of thin film perovskites structures as PZT (Pb1-xZrxTiO3), Sr2 MoFeO6, KNbO3 and KTaO3. The main target will be to obtain those films on polymer and plastic substrates. Properties of deposited films as ferroelectric behavior, structure, chemical composition, density of defects, optical properties etc. will be studied and correlated with the configuration of the multi-plasma jet system and properties of reactive plasma. Reactive sputtering of the nozzles working as hollow cathodes will be used for the deposition process. Radio-frequency excitation of high density hollow cathode jets will be used. Furthermore direct current plasma excitation in the case of conductive nozzles will be studied as well. In situ time resolved emission spectroscopy and fast RF compensated Langmuir probe system will be used for study of plasma parameters.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - další vedlejší obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Tryskový systém s dutými katodami byl zkoumán pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev. Pomocí tryskového systému byly deponovány PZT vrstvy na polymerové substráty a dále pak byla provedena úspěšná depozice perovskitů STO, BTO a BSTO.

Zahájení řešení

1. 1. 2003

Ukončení řešení

1. 1. 2005

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP06-AV0-KJ-U/07:5

Datum dodání záznamu

12. 2. 2014

Celkové uznané náklady

1 879 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 316 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč